单晶铌酸锂薄膜的转移制备技术研究

摘要：

以苯并环丁烯(Benzocyclobutene,BCB)作为键合层,采用离子注入剥离技术制备了Y36切型的单晶铌酸锂薄膜材料.经过对BCB键合层的前烘时间和退火曲线进行系统的研究,克服了由于铌酸锂和BCB之间热膨胀系数不匹配所导致的铌酸锂薄膜开裂问题,获得了高质量的Y36切型单晶铌酸锂薄膜材料.此外,通过在晶圆键合之前预先制备图形化的金属层,获得了带有下电极功能层的单晶铌酸锂薄膜,可应用于薄膜体声波谐振器等具有金属-绝缘层-金属结构的器件.

关键词：铌酸锂薄膜、晶圆键合、离子注入剥离技术、BCB

所属期刊栏目：38

分类号：TB331(工程材料学)

资助基金：国家重点研发计划项目资助2017YFB0406402;国家自然科学基金资助51772044

在线出版日期：2019-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：7-12