行波管金刚石输能窗片金属化影响因素分析

摘要：

为制备行波管用金刚石输能窗片,分析金刚石金属化影响因素.采用粗糙度、 拉曼光谱评估金刚石材料性能.采用酸洗、 离子束刻蚀清洗金刚石表面.采用冲压掩膜、 光刻掩膜防护非金属化区域.通过物理气相沉积制备Ti/Mo/Ni金属化层,并通过真空热处理方法制备TiC过渡层.结果表明:当金刚石内石墨的质量分数低于1％时,离子束刻蚀方法一方面去除金刚石表面杂质,另一方面将表面粗糙度从0.256μm提升至0.343μm;相比冲压掩模,光刻掩模降低界面孔隙率,减少了金属离子对掩模底层的污染,过渡区域宽度从200μm减少至10μm;700℃保温过程促进了TiC的形成,提升了金属化层结合强度,促进了抗热冲击性能.

关键词：金刚石、金属化、物理气相沉积、掩膜、热处理、碳化钛

所属期刊栏目：38

分类号：TN124(真空电子技术)

资助基金：河北省科技计划项目资助17391111D

在线出版日期：2019-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：83-88