不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜的结构和光学性质研究

摘要：

采用磁控溅射法在不同射频功率下制备了Zn0.97 Co0.03 O薄膜.利用X射线衍射(XRD)、 拉曼光谱(Raman)、 紫外-可见光谱和室温光致发光谱对薄膜进行了表征.XRD和Raman结果表明,Zn0.97 Co0.03 O薄膜为六方纤锌矿结构,沿(002)晶面择优取向.随着溅射功率的增大,薄膜的(002)晶面择优取向增强,晶化程度提高,晶粒尺寸增大.不同溅射功率制备的Zn0.97 Co0.03 O薄膜均具有较高的可见光透过率.随溅射功率增加,光学带隙减小,光吸收边红移.光致发光谱表明不同溅射功率制备的Zn0.97 Co0.03 O薄膜均具有较强的带边紫外发光峰.随着溅射功率的增加,该发光峰的峰位发生红移,且峰强度增强.以上研究结果表明,溅射功率对Zn0.97 Co0.03 O薄膜的生长速率、 结晶质量及光学性能有明显影响,但不会影响薄膜的成分.

关键词：Zn0.97Co0.03O薄膜、磁控溅射、溅射功率、结构、可见光透过率、光致发光

所属期刊栏目：38

分类号：O484.4;TN304(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61176010,1172027

在线出版日期：2019-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：23-27