LTCC基板材料耐酸蚀性能研究

摘要：

为适应化学镀工艺实现低成本制备,LTCC基板材料要求具备一定的耐酸性镀液腐蚀能力.本文研究了CaO-B2 O3-SiO2、BaO-Al2 O3-SiO2/Al2 O3、 硼硅酸盐玻璃/锂辉石/Al2 O3、 硼硅酸盐玻璃/堇青石/Al2 O3四种LTCC基板材料在HNO3、HCl和H2 SO4溶液中的耐酸蚀性能.采用XRD、EDS、SEM、ICP等技术分析了腐蚀后基板的形貌和成分.结果显示基板在强酸溶液的腐蚀下均出现不同程度的孔洞缺陷,腐蚀程度随H+浓度的升高而升高.酸根离子种类对基板的腐蚀影响不大.腐蚀机理主要是基板材料的主晶相与H+的化学反应导致的成分溶蚀.钡长石、 硅灰石与H+反应,因此CaO-B2 O3-SiO2、BaO-Al2 O3-SiO2/Al2 O3耐腐蚀性能较差;而锂辉石、Al2 O3不与酸发生反应,硼硅酸盐玻璃/锂辉石/Al2 O3、 硼硅酸盐玻璃/堇青石/Al2 O3耐腐蚀性能较好.

关键词：低温共烧陶瓷、基板、微晶玻璃、陶瓷、化学镀、腐蚀

所属期刊栏目：37

分类号：TM215.7(电工材料)

在线出版日期：2019-01-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：61-66