基于结构优化的微型磁通门降噪技术研究

摘要：

对铁芯结构的改进有利于降低微型磁通门传感器的噪声,本文对铁芯结构进行了拓扑分析与优化,并采用标准MEMS工艺制备了相应的多孔铁芯结构微型磁通门,对所制备的微型磁通门进行了主要噪声指标的综合测试与对比分析.实验结果表明,改进后的多孔铁芯结构能很好地降低微型磁通门传感器的噪声,提高器件的综合性能.

关键词：微型磁通门、多孔铁芯、性能测试、噪声、拓扑结构、优化

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：河南省自然科学基金162300410123;河南省高等学校控制工程重点学科开放实验室项目KG2016-11;河南理工大学博士基金B2017-22

在线出版日期：2018-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：67-71,78