晶体管阵列老炼时结温测量方法研究

摘要：

对PNP晶体管阵列采用矩阵热阻法和温度敏感参数法(TSP)两种结温测量的方法进行对比分析研究,并采用红外热像进行试验验证.结果表明,采用矩阵热阻法可以综合考虑各芯片之间的耦合作用,但由于矩阵热阻法试验程序较为复杂,且需要多次换算,从而较容易引入误差.而温度敏感参数法操作简单,测量准确,可以实现实时监测阵列管工作状态下的结温.

关键词：晶体管阵列、老炼、结温、温度敏感参数、矩阵热阻、红外热像

所属期刊栏目：36

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2017-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29