制备条件对Bi2Te3薄膜导电性能的影响

摘要：

通过物理气相沉积法在石英基底上于不同条件下制备出五种Bi2Te3薄膜,并且利用扫描电子显微镜和XRD对各薄膜样品进行表征,最后运用四探针测试法测试样品导电性能.结果表明:制备温度和沉积时间对Bi2Te3薄膜的表面形貌和样品膜的导电性能影响很大;制备温度越高、沉积时间越长,所制薄膜的均匀度及致密度越高、导电性越好.

关键词：Bi2Te3薄膜、物理气相沉积法、扫描电子显微镜、四探针测试法、制备温度、沉积时间

所属期刊栏目：36

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：河南省科技技术重点研究项目资助12A140003

在线出版日期：2017-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：56-61