退火温度对La1-xSrxCo1-yFeyO3系薄膜NTC阻温特性的影响

摘要：

利用La1-xSrxCo1-yFeyO3(x=0.2,y=0.3)陶瓷靶材,通过真空射频磁控溅射在Al2O3基片上制备La0.8Sr0.2Co0.7Fe0.3O3(LSCF)薄膜,然后在此基础上制备NTC热敏电阻.采用X射线衍射(XRD)分析了材料相的组成,扫描电子显微镜(SEM)分析观察薄膜材料的微观结构,电阻测试仪和四探针仪器测试薄膜的阻温特性,研究不同退火温度对LSCF薄膜室温电阻和材料常数(B值)的影响.结果表明,随着退火温度升高,LSCF薄膜方阻和B值都存在先减小后增大现象,具有显著的NTC阻温特性,其lnR_T-1曲线具有良好的线性度.

关键词：La0.8Sr0.2Co0.7Fe0.3O3、薄膜、射频磁控溅射、结晶性能、NTC热敏电阻、阻温特性

所属期刊栏目：35

分类号：TN37(半导体技术)

资助基金：国家科技支撑计划课题2014BAE10B01

在线出版日期：2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36