基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究

摘要：

通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感，其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感，而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感，这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层（聚偏二氯乙烯，厚度约为40μm）、线圈和线圈中心的磁膜、上层绝缘层和上层磁芯层组成，其差别在于磁芯结构不同。在1~3 MHz频率范围内，比较了三种电感的等效电感、寄生电容和损耗因子。结果表明：与三文治结构电感和全磁膜电感相比，特殊磁芯电感有较高的等效电感量和较小的寄生电容，但损耗较后两者高。

关键词：薄膜电感、磁通方向、电感量、闭合磁路、寄生电容、损耗因子

分类号：TM25(电工材料)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金资助项目No.20124420110007；广东省联合培养研究生示范基地人才培养项目资助2013JDXM27

在线出版日期：2015-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-44