10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.01.010
基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究
通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感,其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感,而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感,这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层(聚偏二氯乙烯,厚度约为40μm)、线圈和线圈中心的磁膜、上层绝缘层和上层磁芯层组成,其差别在于磁芯结构不同。在1~3 MHz频率范围内,比较了三种电感的等效电感、寄生电容和损耗因子。结果表明:与三文治结构电感和全磁膜电感相比,特殊磁芯电感有较高的等效电感量和较小的寄生电容,但损耗较后两者高。
薄膜电感、磁通方向、电感量、闭合磁路、寄生电容、损耗因子
TM25(电工材料)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目No.20124420110007;广东省联合培养研究生示范基地人才培养项目资助2013JDXM27
2015-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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