高分子辅助沉积法（PAD）制备LaBaCo2O5+δ薄膜的研究

摘要：

用高分子辅助沉积法在Si(001)基底上以SiO2为缓冲层成功地制备出LaBaCo2O5+δ(LBCO)薄膜。X射线衍射谱证明了LBCO/Si (001)薄膜是(111)择优取向的单相赝立方结构。从LBCO薄膜样品的SEM照片可以看出， LBCO薄膜的晶粒大小并不均匀，其大的晶粒尺寸为1～2μm，小的晶粒尺寸为0.1～0.2μm；同时，可以明显观察到一些小的空隙,这些空隙有利于氧气的吸附及扩散。在 LBCO 薄膜的电阻(R)-温度(t)曲线测试中，电阻随温度的升高先急剧下降后缓慢下降，表明LBCO薄膜具有典型的半导体材料性质。LBCO薄膜在纯氧和空气中电阻的最低值分别为36Ω和382Ω，前者为后者的1/10,说明LBCO薄膜对氧气具有敏感性。

关键词：钙钛矿、薄膜、高分子辅助沉积法、X射线衍射、表面形貌、电输运性质

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家教育部科学基金资助项目2012B091100097

在线出版日期：2014-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32