阵列型高功率薄膜匹配负载研究

摘要：

基于功率分配思想和简化实频法设计了频率为DC～20 GHz，承载功率为40 W的阵列型微波薄膜匹配负载器件；采用丝网印刷工艺和射频磁控溅射工艺制备了设计的TaN薄膜匹配负载器件。研究了所制器件的性能，结果表明，在DC～23.6 GHz，电压驻波比均小于1.3。加载功率为8，18，40 W时，薄膜表面的最高温度分别为37.6，59.5，113.6℃。热成像测试结果表明，所设计器件的两个电阻膜温度基本一致，实现了功率的平均分配。

关键词：微波匹配负载、TaN薄膜、阵列型、高功率、简化实频法、丝网印刷、射频磁控溅射

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：教育部支撑资助项目625010305

在线出版日期：2014-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28