T型薄膜热电偶灵敏度与薄膜电阻率的关系

摘要：

在优化薄膜制备工艺的基础上,通过实验对Cu、CuNi薄膜的电阻率与T型薄膜热电偶(TFTC)灵敏度之间的关系进行了研究.首先,通过设计正交试验,以Cu、CuNi薄膜电阻率为考察指标,得到了影响电阻率的主次因素以及各工艺参数对薄膜电阻率的影响规律.然后根据实验结果确定工艺参数条件,制备出了薄膜电阻率不同的3个T型薄膜热电偶,并对其灵敏度进行了实验标定.标定结果表明:T型薄膜热电偶的薄膜电阻率越小,其灵敏度越大.

关键词：T型薄膜热电偶、热电势率、灵敏度、电阻率、正交试验、静态标定

所属期刊栏目：33

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2016-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49