柔性电子用NiW薄片上ZCO异质外延生长

摘要：

低成本柔性金属薄片上的异质外延氧化铈薄膜的潜在应用领域有固体燃料电池、气体传感器和光学器件等.利用直流反应磁控溅射法在双轴织构NiW合金衬底上进行Zr掺杂氧化铈薄膜的外延生长研究.结果表明,不同Zr掺杂量的薄膜可通过调制Zr靶上的溅射功率获取,所有样品均为c轴垂直于基片表面生长,显示出良好的外延特性.原子力显微镜分析结果表明,样品表面连续、致密、无裂纹.电子背散射衍射图谱显示Zr0.32Ce0.68O1.84膜具有良好的四重对称面内织构.

关键词：Zr掺杂氧化铈、薄膜、异质外延、柔性电子、溅射法、面内织构

所属期刊栏目：33

分类号：TN604(电子元件、组件)

在线出版日期：2016-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：24-26