TaN微波功率薄膜匹配负载的设计及制备

摘要：

基于有耗传输线理论设计了频率为DC-3GHz的TaN微波功率薄膜匹配负载,采用HFSS软件仿真了匹配负载的频率特性.根据设计仿真结果,采用反应磁控溅射和掩模图形化方法制备了TaN微波功率薄膜匹配负载样品,基片为6 mm×9 mm×1 mm的BeO陶瓷基片,TaN薄膜的直流电阻为50Ω.结果表明,实验结果与仿真结果基本一致,在DC-3 GHz频率范围内,样品的电压驻波比(VSWR)都小于1.2.

关键词：薄膜匹配负载、电压驻波比、仿真、反应溅射

所属期刊栏目：31

分类号：TM544(电器)

资助基金：四川省科技创新研究团队项目资助2011JTD0039

在线出版日期：2016-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：39-41