添加剂对CBS系LTCC基板的匹配性能的影响

摘要：

采用水淬法制备了CaO-B2O3-SiO2(CBS)玻璃,研究了MgO替代Na2O、K2O掺杂对所制CBS玻璃的烧结性能、介电性能和热膨胀性能的影响.结果表明:MgO的替代掺杂使CBS玻璃的软化温度提高,黏度活化能增大,银离子扩散能力减弱,并使CBS玻璃与银电极匹配共烧发黄的现象得到改善.含有0.2％MgO和0.1％Na2O(质量分数)并于850℃烧结制备的CBS玻璃性能较佳:密度为2.45 g/cm3,1 MHz频率下εr为5.98,tanδ为5×10-4,线膨胀系数为10.1×10-6℃.

关键词：CBS玻璃、添加剂、匹配、银扩散、热膨胀、键强与离子半径

所属期刊栏目：31

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家“863”计划资助项目2007AA03Z455;江苏省科技支撑项目资助BE2009168

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40