纳米压痕法分析Sn-9Zn/Cu焊点力学性能

摘要：

通过对Sn-9Zn/Cu焊点进行纳米压痕实验发现:在保载阶段,体钎料产生了明显的蠕变特征,蠕变深度随着加载速率的增加而增加.基于压痕做功概念确定了Sn-9Zn/Cu焊点中体钎料的蠕变应力指数n约为5.128.硬度和弹性模量测试结果表明:金属间化合物Cu5Zn8的压痕硬度(5.152±0.224) GPa约是体钎料压痕硬度(0.178士0.020)GPa的30倍；前者弹性模量(123.100±20.024) GPa又是后者弹性模量(25.615±9.077) GPa的5倍,显示了影响焊点可靠性的关键因素是焊点界面处的金属间化合物.

关键词：Sn-9Zn、纳米压痕、蠕变应变速率敏感指数

所属期刊栏目：30

分类号：TN306(半导体技术)

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：65-67