基于尺寸效应的Cu/CuNi薄膜热电偶灵敏度研究

摘要：

采用磁控溅射法在镀有SiO2阻挡层的基底上制备了一系列的Cu/CuNi薄膜热电偶,其厚度分别为0.5,1.0,1.5和2.0 μm,测得四种Cu/CuNi薄膜热电偶的灵敏度,分别为46.47,45.23,44.32和43.98 μV/℃,通过实验和理论研究了薄膜热电偶灵敏度S与厚度δ之间的关系.结果表明:Cu/CuNi薄膜热电偶的灵敏度高于普通Cu/CuNi热电偶；在薄膜厚度大于临界厚度的情况下,薄膜热电偶的灵敏度S随着厚度的倒数l/δ增大而升高.

关键词：薄膜热电偶、灵敏度、尺寸效应、费米面

所属期刊栏目：30

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：上海市教委重点学科建设资助项目J50503;上海市研究生创新基金资助项目JWCXSL1102

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-18