10.3969/j.issn.1001-2028.2011.09.020
RF-MEMS谐振器和滤波器研究进展
介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统( RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行讨论;分析RF-MEMS谐振器及滤波器设计和制造中的有关问题及其处理方法;RF-MEMS谐振器及滤波器性能优异,能与其他器件实现片上集成,且与集成电路工艺兼容,在射频无线通信系统中的应用有着良好前景.
射频微机电系统、微机械谐振器、综述、微机械滤波器
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TN92;TP211.4
重庆市自然科学基金资助项目CSTC2010BB2414
2012-01-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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