RF-MEMS谐振器和滤波器研究进展

摘要：

介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统( RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行讨论；分析RF-MEMS谐振器及滤波器设计和制造中的有关问题及其处理方法;RF-MEMS谐振器及滤波器性能优异,能与其他器件实现片上集成,且与集成电路工艺兼容,在射频无线通信系统中的应用有着良好前景.

关键词：射频微机电系统、微机械谐振器、综述、微机械滤波器

所属期刊栏目：30

分类号：TN92;TP211.4

资助基金：重庆市自然科学基金资助项目CSTC2010BB2414

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：76-81