EMC材料特性对MEMS加速度计封装可靠性的影响

摘要：

采用有限元法分析了EMC(环氧模塑封材料)材料特性对MEMS(微电子机械系统)加速度计封装可靠性的影响.使用有限元软件ANSYS分别模拟了加速度计的输出电压、悬臂梁的挠度以及加速度计芯片的等效应力在温度循环载荷下的变化情况.结果发现,EMC的材料模式不同,MEMS加速度计的性能有明显差异.在使用EMC温度相关弹性模式和EMC粘弹性模式时,由于在高温阶段考虑了EMC材料的应力松弛特性,芯片的最大等效应力分别为83.9 MPa和55.4 MPa,低于使用EMC恒弹性模式时的等效应力(95.5 MPa).

关键词：环氧模塑封材料、MEMS加速度计、封装、可靠性

所属期刊栏目：30

分类号：TM277(电工材料)

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：61-65