钽阳极氧化膜的半导体性研究

摘要：

用电容测量技术和电化学阻抗技术研究了高纯钽丝在稀磷酸(质量分数为0.01%,0.10%和1.00%)、氨水(pH=11)和饱和CO2水溶液(pH=4)中阳极氧化形成的氧化钽膜在酸性缓冲液(pH=2)中的半导体性和阻抗特性.实验结果表明,来自非磷酸系的阳极氧化钽膜呈现出双极性(p-n)半导体结构特征,而来自磷酸系的则表现为三极性( n-p-n)；且非磷酸系阳极氧化钽膜的施主浓度(0.6×1019cm-3)明显低于磷酸系的(0.7×1019～2.2× 1019cm-3).但磷酸系阳极氧化钽膜的耐酸腐蚀性弱于非磷酸系的.这些可能是磷酸根离子嵌入氧化钽膜外层的结果.

关键词：阳极氧化钽膜、半导体特性、电容测量、Mott-Schottky分析、阻抗

所属期刊栏目：30

分类号：TM201(电工材料)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973资助项目2011CB606201

在线出版日期：2011-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39