Pd掺杂SnO2气敏薄膜XPS分析及其气敏性能研究

摘要：

分别在氧气和氩气气氛下,于纯SnO<,2>气敏薄膜上溅射金属Pd制备了Pd掺杂SnO<,2>,气敏薄膜.利用XPS分析了溅射气氛和老化处理对该气敏薄膜表面元素含量变化的影响.结果表明:溅射气氛和老化处理对气敏薄膜的表面吸附氧含量和其他元素的含量均有很大影响,如氩气气氛下制备的Pd/SnO<,2>气敏薄膜在老化前与400℃/2h老化后的表面吸附氧原子的摩尔比为11.632 9:4.341 6.Pd掺杂SnO<,2>气敏元件的灵敏度比未掺杂的元件灵敏度提高数十倍.最后对气敏元件的敏感机理进行了探讨.

关键词：薄膜、电导、气敏、二氧化锡、灵敏度

所属期刊栏目：30

分类号：TN304.92(半导体技术)

资助基金：上海市教委纳米材料化学重点学科资助项目J50102

在线出版日期：2011-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：26-30