钛酸锶钡/铋锌铌多层复合薄膜的制备及性能

摘要：

采用溶胶一凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了钛酸锶钡/铋锌铌多层复合薄膜样品.研究了不同退火温度下多层复合薄膜的结构、微观形貌及介电性能.结果表明:在退火温度高于700℃时,所得复合薄膜中会出现立方焦绿石结构的铋锌铌和钙钛矿结构的钛酸锶钡.750℃退火处理得到的多层复合薄膜,表面致密,无裂纹,其相对介电常数为146,介电损耗为0.004;在频率为10 kHz,电场强度为6×105V/cm时,其介电可调率达到13%,品质因子(FOM)达到32.5.

关键词：微波介质薄膜、钛酸锶钡、铋锌铌、溶胶-凝胶法

所属期刊栏目：30

分类号：TM22(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50572086;中央高校基本科研业务费专项资金资助No.CHD2009JC010:深圳大学深圳市特种功能材料重点实验室开放基金资助项目T201009

在线出版日期：2011-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24