掺铝ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究

摘要：

采用RF磁控溅射法制备了掺铝ZnO(AZO)透明导电薄膜,用X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等,研究了沉积温度对薄膜晶体结构和光电性能的影响.结果表明,AZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)择优取向.沉积温度对薄膜的择优取向程度、晶粒尺寸,透射率和导电性能等具有明显的影响.当沉积温度为400℃时,AZO薄膜最大晶粒尺寸为37.21 nm、可见光范围平均透射率为85.5%、优良指数为1.30×10-2Ω-1.

关键词：RF磁控溅射、AZO薄膜、薄膜结构、光电性能

所属期刊栏目：29

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：湖北省自然科学基金资助项目2009CDB166;中南民族大学学术团队基金资助项目XTZ09003

在线出版日期：2010-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47