Sr(Zr0.1Ti0.9)O3缓冲层厚度对PZT薄膜结晶及性能的影响

摘要：

采用sol-gel法制备了具有Sr(Zr0.1Ti0.9)O3缓冲层的PbZr0.52Ti0.48O3 (PZT)薄膜,研究了缓冲层厚度对样品结晶和性能的影响.结果表明,较薄缓冲层会诱导PZT薄膜的(111)择优取向,添加单层缓冲层(约20 nm)使其(111)取向度提高到90%;较厚缓冲层会抑制PZT薄膜的(111)择优取向,添加四层缓冲层(约80 nm)使其(111)取向度降低到9%;缓冲层厚度对样品电性能有显著影响,其剩余极化强度由无缓冲层时的26.8×10-6 C/cm2增加到缓冲层厚度约为20 nm时的38.8×10-6 C/cm2.

关键词：缓冲层、PZT薄膜、Sr(Zr0.1Ti0.9)O3、取向度

所属期刊栏目：29

分类号：O484 (固体物理学)

资助基金：西安建筑科技大学青年基金资助项目QN0714

在线出版日期：2010-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-7,11