氧化铟空心球的合成及其气敏性能研究

摘要：

采用溶剂热–退火反应法合成了氧化铟空心球.所获空心球用XRD,TEM和SEM等表征.发现所合成的氧化铟空心球直径介于0.5～1.0 μm,且该空心球是由粒径约50 nm的氧化铟纳米块堆积而成.研究了用此空心球制备的气敏元件的气敏性能.结果表明,氧化铟空心球结构有益于提高元件的响应性能.此外,该元件对NO_2气体有较快的响应(8 s)并且恢复时间较短(15 s).

关键词：In_2O_3空心球、溶剂热—退火反应法、气敏元件、NO_2

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.92 (半导体技术)

资助基金：上海市自然科学基金资助项目07ER14039;上海市教委"纳米材料化学"重点学科资助项目J50102

在线出版日期：2010-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13