10.3969/j.issn.1001-2028.2010.01.022
SAW氢传感器敏感薄膜的研究进展
氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用.综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在SAW氢传感器敏感薄膜中的应用,展望了氢敏薄膜的发展方向.
声表面波、氢传感器、综述、敏感薄膜
29
TP212(自动化技术及设备)
江西蓝天学院自然科学基金资助项目XYKJ08QN03
2010-03-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
75-78