SAW氢传感器敏感薄膜的研究进展

摘要：

氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用.综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在SAW氢传感器敏感薄膜中的应用,展望了氢敏薄膜的发展方向.

关键词：声表面波、氢传感器、综述、敏感薄膜

所属期刊栏目：29

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：江西蓝天学院自然科学基金资助项目XYKJ08QN03

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：75-78