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10.3969/j.issn.1001-2028.2009.11.006

复合钒钛酸干凝胶薄膜的湿敏特性研究

引用
采用sol-gel法制备了复合钒钛酸干凝胶(H2V10Ti2O30-y·nH2O)薄膜,并对其湿敏特性进行了研究.结果表明:该薄膜为层状结构.用此薄膜制备的湿敏元件,在RH为11%~95%的范围内,感湿特性曲线线性好,其响应、恢复时间分别为5 s和20 s,湿滞为RH 2%,感湿温度系数为RH 0.45%/℃,并具有良好的稳定性.H2V10Ti2O30-y·nH2O干凝胶薄膜湿敏元件的灵敏度和湿滞均优于复合钒酸(H2V12O31-y·nH2O)干凝胶薄膜湿敏元件.

sol-gel法、复合钒钛酸干凝胶、薄膜、湿敏特性

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TP212;TQ135.1+1;TB34 (自动化技术及设备)

黑龙江省教育厅科学技术研究资助项目11531009

2010-01-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

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电子元件与材料

1001-2028

51-1241/TN

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2009,28(11)

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