锆钛酸钡薄膜材料制备研究进展

摘要：

综述了磁控溅射、脉冲激光沉积、sol-gel法制备锆钛酸钡(简称BZT)薄膜的研究现状,及其制备工艺参数与显微结构、介电性能的关系,提出了制备BZT薄膜材料需要解决的工艺和理论问题.

关键词：锆钛酸钡、制备、综述、铁电薄膜

所属期刊栏目：28

分类号：TQ174.756

资助基金：教育部"春晖"计划资助项目Z2007-1-63013;重庆市教委科学技术研究资助项目KJ091416;重庆科技学院大学生科技创新训练计划资助项目

在线出版日期：2009-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：69-73