溅射功率对PET衬底上ZnO∶Zr薄膜性能的影响

摘要：

采用直流磁控溅射法在室温下柔性PET衬底上制备出了高质量的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜.研究了溅射功率对ZnO∶Zr薄膜表面形貌、结构、电学和光学性能的影响.溅射功率对ZnO∶Zr薄膜的电阻率影响显著:当溅射功率从60 W增加到90 W时,薄膜的电阻率先减小后增大,在最佳功率80 W时,电阻率具有最小值3.67×10-3 Ω·cm.所制备的ZnO∶Zr薄膜具有良好的附着性能,在可见光区平均透射率高达90%.

关键词：ZnO∶Zr薄膜、透明导电薄膜、磁控溅射、溅射功率

所属期刊栏目：28

分类号：O484 (固体物理学)

资助基金：山东理工大学创新团队支持计划资助项目2006

在线出版日期：2009-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：58-60