10.3969/j.issn.1001-2028.2009.08.016
微波电路用共面电极TaNx薄膜片式电阻器
采用反应溅射方法制作TaNx电阻薄膜,并通过溅射Ni、Au形成双层共面电极.研究了溅射条件对电阻薄膜组分的影响以及此类电阻器的微波特性.结果显示,溅射工作真空度小于0.5 Pa,氮气体积分数大于5%时,可以得到阻值稳定的六方晶体结构TaNx电阻薄膜,其共面电极的电阻器使用频率上限大于20 GHz.
TaNx、共面电极、薄膜片式电阻器
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TM54 (电器)
广东省教育部产学研结合项目
2009-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
55-58