10.3969/j.issn.1001-2028.2009.07.011
sol-gel法制备掺Al的ZnO薄膜及其表面形貌表征
用原子力显微镜,观察了sol-gel法制备之掺Al的ZnO薄膜的表面形貌,计算了薄膜的表面高度-高度相关函数H(r)-r,并用分形表面高度-高度相关函数的唯象表达式,对薄膜表面高度-高度相关函数进行拟合.结果表明:掺Al的ZnO薄膜表面具有典型的分形特征,Al掺杂量的增加和退火温度升高,使掺Al的ZnO薄膜的表面粗糙度w从1.39增大到5.47,分形维数D,由2.12减小到2.08,水平相关长度ξ从31.25增到76.17.
ZnO薄膜、表面形貌、高度-高度相关函数、分形
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O484(固体物理学)
安徽省科技攻关计划资助项目No.07020203009.安徽省高等学校省级自然科学研究资助项目K120078135
2009-08-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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