VO2薄膜的制备及表征

摘要：

综述了目前VO2薄膜主要的制备方法(sol-gel法,蒸发法,脉冲激光沉积,溅射法和CVD)及其优缺点;以及X射线技术、光电子能谱、光谱技术、显微技术等表征手段在VO2薄膜研究中的应用.如何方便地获得准确化学计量的VO2,获得结晶性好的薄膜结构以及与基体间具有良好结合力的制备方法,是今后关注的问题.

关键词：无机非金属材料、VO2薄膜、综述、制备方法、表征

所属期刊栏目：28

分类号：TN304.91 (半导体技术)

资助基金：四川省科技厅资助项目04JY029?D072?D1

在线出版日期：2009-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77