小尺寸2D密闭腔气体摆特性的有限元分析

摘要：

采用有限元法,计算了小尺寸2D密闭腔中点热源引起的对流场和温度场,从而验证和解释了小尺寸密闭腔内自然对流气体的摆特性.结果表明:(1)无论是在水平状态还是在倾斜状态,在浮升力的作用下密闭腔内自然对流气体的方向总是竖直向上,具有摆的特性;(2)热源两侧原来处在同一条等温线上两点的温度不再相等,倾斜10°时,温度之差为20 K;倾斜20°时,温度之差为40 K.微机械气流式水平姿态传感器利用这一特性可敏感倾斜角度.

关键词：有限元法、气体摆、小尺寸、对流场、温度场

所属期刊栏目：28

分类号：TN379 (半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60772012;北京市教委面上资助项目KM00710772009;北京市优秀人才培养项目;北京市传感器重点实验室开放课题;北京市属市管高校人才强教计划资助项目

在线出版日期：2009-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-47