电极材料对集成式谐振器力敏特性的影响

摘要：

设计制作了同一晶片上的集成三电极的谐振器.研究了这种谐振器的力敏特性与加力方位、电极材料的关系.并对电极材料分别为Au、Al的谐振器进行了比较实验.结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关,加力方位与x轴夹角ψ为0°时,力敏系数最大;电极材料通过对石英晶体谐振器有效机电耦合系数的影响,进而影响谐振器的力-频特性.集成式谐振器在相同加力方位时,镀Au电极比Al电极的力敏系数最大可高出189.8 Hz/N.

关键词：集成式谐振器、力敏特性、电极材料

所属期刊栏目：28

分类号：O765;TH703.2 (晶体结构)

资助基金：北京市自然科学基金资助项目4082011;北京传感器重点实验室开放课题基金资助项目KM200710772022

在线出版日期：2009-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41