氧气浓度对ZnO薄膜表面形貌和微结构的影响

摘要：

采用反应磁控溅射技术,在SiO2基底上制备了ZnO薄膜.通过原子力显微镜(AFM)和X射线电子能谱仪(XPS)对薄膜表面形貌及微结构进行了表征,分析了氧气浓度(体积分数为40% ～ 60%)对薄膜表面形貌和微结构的影响.结果表明:随着氧气体积分数的增大,薄膜c轴晶向生长减弱,表面形貌趋向平整,氧化反应程度增强;φ(O2)为60%时,薄膜表面粗糙度约为3 nm,其内部的r(Zn : O)接近1:1.

关键词：无机非金属材料、ZnO薄膜、氧气浓度、形貌、结构

所属期刊栏目：28

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：陕西省外国专家局专项科研基金资助项目05JS02

在线出版日期：2009-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30