PLD法生长Al2O3基ZnO薄膜的特性

摘要：

在不同衬底温度下,用脉冲激光沉积法(PLD),在Al2O3(0001)平面上生长了ZnO薄膜.研究了衬底温度对其结晶质量、电学性质以及发光性质的影响.结果显示:XRD在2θ为34°处出现了唯一的ZnO(0002)衍射峰;ZnO薄膜的电阻率随衬底温度的升高而增大;在衬底温度为500 ℃时,出现了位于410 nm附近的特殊的光致发光(PL)峰.

关键词：无机非金属材料、PLD、ZnO、薄膜、Al2O3

所属期刊栏目：27

分类号：TQ132.4

资助基金：国家自然科学基金资助项目90301002

在线出版日期：2009-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：60-62