声表面波气体传感器的研究进展

摘要：

介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可解决在低浓度工作时的灵敏度等问题.展望了声表面波气体传感器的发展趋势,认为该传感器的研究价值很高,市场前景广阔.

关键词：电子技术、声表面波气体传感器、综述、响应时间、灵敏度、无源无线传感技术

所属期刊栏目：27

分类号：TN65(电子元件、组件)

在线出版日期：2008-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：26-30