微型笔直写技术制备厚膜温度传感器阵列研究

摘要：

利用微型笔直写技术,在Al2O3陶瓷基板上制备了4×4厚膜PTC热敏电阻温度传感器阵列.研究了驱动气压、笔嘴直径以及直写速度等对厚膜PTC热敏电阻线宽的影响,分析了微型笔直写PTC热敏电阻温度传感器的形成机理.目前微型笔在Al2O3陶瓷基板上直写的厚膜PTC热敏电阻线宽为130~400 ìm.高温烧结后其电阻温度系数?R为1 620×10-6/℃,在25~95 ℃之间电阻阻值随温度的变化具有良好的线性.

关键词：电子技术、微型笔、温度传感器阵列、直写技术、热敏电阻

所属期刊栏目：27

分类号：TM24(电工材料)

资助基金：国家"863"计划资助项目2006AA04Z313;国家自然科学基金资助项目50575086

在线出版日期：2008-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-21