NTC热敏薄膜的研究进展

摘要：

综述了负温度系数(NTC)热敏薄膜目前最常用的四种制备工艺,即:蒸发法(evaporation),磁控溅射法(magnetron sputtering),脉冲激光沉积法(PLD)和金属有机物热分解法(MOD),分析了这几种工艺的优缺点及国外的研究进展.并简要介绍了NTC热敏薄膜在传感器等方面的应用和发展前景.

关键词：电子技术、NTC薄膜、综述、制备工艺、传感器

所属期刊栏目：27

分类号：TB43;TN371(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15