10.3969/j.issn.1001-2028.2008.01.015
SnO2厚膜NO2新型气敏元件的研制
根据霍耳效应,用真空镀膜法制备之SnO2厚膜,制备了NO2新型气敏元件,并对其气敏性能进行了测试.结果表明:在一定的温度和湿度下,即使没有加热,元件对体积分数为20×10-6的NO2气体的灵敏度可达5.94,响应时间为36 s,恢复时间为22 s.因此,利用霍耳效应来制作气敏元件是一条可行的新思路.
电子技术、霍耳效应、气敏元件、二氧化氮
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TP212.2(自动化技术及设备)
2008-04-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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