ZnO薄膜的结构与光学性能研究

摘要：

采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜,通过改变溶胶浓度、涂敷层数及退火温度,研究了ZnO薄膜的形貌、结构性能及光学性能.结果表明,薄膜具有六方纤锌矿结构,表面均匀致密,晶粒大小在25～35 nm之间,Zn含量为0.8 mol/L的溶胶经旋涂并在500 ℃下退火1 h后可获得最高的可见光透射率,平均透射率约为94%.获得的ZnO薄膜的光学带隙在3.27～3.29 eV之间.

关键词：无机非金属材料、ZnO薄膜、透射光谱、sol-gel法、光学带隙

所属期刊栏目：26

分类号：TQ132.41

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA03Z219;南京航空航天大学校科研和教改项目S0417061;教育部长江学者和创新团队发展计划IRT0534

在线出版日期：2007-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11