ZnO薄膜的丙酮气敏特性研究

摘要：

用直流磁控反应溅射法,分别在Si(111)基片及Al2O3陶瓷基片上制备了ZnO薄膜,并进行TiO2、SnO2、Al2O3或CuO的掺杂和退火处理.用XRD分析了退火前后晶型的变化,利用气敏测试系统对各样品进行了气敏特性测试.结果表明:经过700 ℃退火后的样品,在最佳工作温度为220 ℃时,对丙酮有很好的选择性和很高的灵敏度(34.794).掺杂TiO2或SnO2,可提高ZnO薄膜传感器对丙酮的灵敏度(57.963).

关键词：半导体技术、ZnO薄膜、传感器、丙酮、选择性

所属期刊栏目：26

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：46-48,52