10.3969/j.issn.1001-2028.2007.05.009
石英谐振器力频特性的ANSYS分析及实验对比
利用ANSYS有限元理论模型,对AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时,晶片内的应力分布进行了分析计算;通过在不同区域蒸镀电极的方法对石英晶体的力频特性进行了实验检测.结果表明,ANSYS理论计算结果与实验结果近乎一致,最大误差约为4 %.
电子技术、ANSYS分析、石英谐振器、力频灵敏度系数
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TP202(自动化技术及设备)
北京市科技发展基金KM200610772009;北京市高校学术创新团队项目51050031;北京市重点实验室基金66062019
2007-06-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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