VOx薄膜的sol-gel法制备

摘要：

通过对工艺条件的研究,解决了钒有机溶胶与基片的亲水性问题,提出了成膜牢固的亲水处理方法,制备出了无裂纹、致密性好的VOx薄膜.测量结果表明,520 ℃热处理条件下的VOx薄膜样品的平均电阻温度系数达到了3.95 % K-1.而470 ℃热处理下的VOx薄膜样品,其升降温阻温特性一致性很好,可用作高灵敏度红外探测器敏感元材料.

关键词：电子技术、VOx、sol-gel、薄膜、R-t特性

所属期刊栏目：26

分类号：TN304.05 (半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2004CB619300;教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET-04-0703;湖北省科技攻关项目2005AA101C04

在线出版日期：2007-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24