基于阳极氧化铝模板的金属纳米孔阵列膜制备

摘要：

以0.3 mol/L草酸为电解液,在40 V直流电压、0(5 ℃下采用二步阳极氧化法制备了纳米多孔阳极氧化铝模板.用射频磁控溅射法在阳极氧化铝模板表面制备了金属铝膜.SEM分析结果表明:金属膜复制了阳极氧化铝模板形貌,具有纳米孔有序阵列结构;金属膜的孔径受控于溅射功率和时间,功率30 W下沉积10 min约为68 nm,32 W下10 min约为58 nm,32 W下15 min约为25 nm.

关键词：金属材料、纳米多孔材料、纳米多孔金属铝膜、阳极氧化铝模板、射频磁控溅射

所属期刊栏目：26

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2007-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-6,10