sol-gel法制备BST薄膜及介电调谐性能

摘要：

采用sol-gel法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜.探讨了溶胶中醋酸和乙二醇用量对BST晶化温度和物相的影响,配制出了晶化温度低且无杂相的BST溶胶,对比了退火升温速率对BST薄膜形貌的影响.发现在低速率升温条件下生长的薄膜致密、均匀一致,无气孔、裂纹.测试了薄膜的介电调谐性能,在室温1 MHz下,BST薄膜的εr、tanδ和T分别为592,0.025和42%.

关键词：无机非金属材料、BST薄膜、sol-gel、介电调谐性能

所属期刊栏目：26

分类号：TM2(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金50125309

在线出版日期：2007-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-42,45