微机电光学电流传感器的设计

摘要：

提出了一种检测50 Hz交流电的微机电光学电流传感器.通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理,结合工艺条件给出了器件的设计要求,并利用matlab软件模拟分析了传感器的仿真测试结果.计算表明,器件可以测试1～7.2 kA的交流电,大电流下的灵敏度可达到0.01 dB/A以上.

关键词：电子技术、微机电系统、光学电流传感器、扭转微镜、双光纤准直器

所属期刊栏目：25

分类号：TP212 (自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60572022

在线出版日期：2007-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-30