In2O3基甲醛传感器的研制

摘要：

以sol-gel法制备的In2O3纳米材料为基体,采用La2O3作为掺杂剂,研制出甲醛传感器.结果表明:La2O3的掺杂可以明显提高元件对甲醛的灵敏度,在工作温度为145 ℃,φ(甲醛)为10×10-6时,元件表现出4倍的灵敏度,通过4A分子筛的修饰提高了元件的选择性.在为期90 d的追踪实验中发现元件的灵敏度变化小于10 %,元件在φ(甲醛)为50×10-6时,响应、恢复时间分别为8 s和30 s.

关键词：电子技术、甲醛传感器、In2O3、sol-gel、灵敏度

所属期刊栏目：25

分类号：TN304.2+1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60574096

在线出版日期：2006-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17