金红石型TiO2气敏材料的研究

摘要：

采用预处理、高价氧化物掺杂、长时间烧结等手段,降低了金红石晶型TiO2的阻值.借助XRD和器件测试方法,对其结构和元件参数进行了分析,结果表明:TiO2粉末在1 050℃下退火1 h,能完全转化为稳定的金红石型结构;对金红石型结构的TiO2经N2气氛预处理、掺入质量分数为10%的Nb2O5、80 h(800℃)烧结后,TiO2气敏器件阻值降为780 kΩ,并相应提高了灵敏度,为鱼类食品测鲜领域实现非破坏性、快速准确的测量,探索了一条制作低阻值微型化气敏传感器材料的新工艺.

关键词：电子技术、TiO2、金红石、敏感材料

所属期刊栏目：25

分类号：TN304.92 (半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69976019

在线出版日期：2006-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24