MIS结构电容器的湿敏特性研究

摘要：

在室温情况下,研究了MIS结构电容器的湿敏特性.用交流串联电路,测量其电流与相对湿度和频率的依赖关系,实验结果表明:此结构有良好的感湿灵敏度和短的响应时间.其中相对湿度从12%变化到98%时,在较宽频率范围(102～105 Hz)内,元件的电流有较大的变化.还对器件的物理模型进行了分析.

关键词：电子技术、MIS结构、相对湿度、传感器

所属期刊栏目：25

分类号：TN298(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：43-44